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L—B单分子膜制备的MIS结构和电容电压特性
张亮 白玉白
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利用L-B单分子功能膜的绝缘性制作MIS器件,通过对它的结构和电容-电压特性曲线的研究,发现LB膜可以改善MOS器件的性能和消除MOS器件的“异常”C-U特性现象,利用CU特性曲线可以检测L-B膜成膜质量,利用零偏压时的电容值可以计算各成膜材料的介电常数。
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